洁净室无尘室空气洁净度等级测试

2015-01-20 10:07:11 admin

空气洁净度等级测试
C.1.1 空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。
C.1.2 洁净度等级测试前，应先进行风速，风量、静压差、过滤器检漏和围护结构密闭性检测。
C.1.3 采样点确定
C.1.3.1 应下式计算最少采样点

（C.1.3）
式中

——最少采样点，四舍五入取整数；

——洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。
C.1.3.2 采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。
C.1.4 每次采样的最少采样量
C.1.4.1 每个采样点的每次采样量（V_S）应按下式计算：

（C.1.4）
式中：

——被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/m³）；
          20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。
C.1.4.2 每个采样点的采样量至少为2L，采样时间最少为1min，当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。
    当Vs很大时，采样时间会很长，可参照采用ISO14644-1附录F中规定的顺序采样法。
C.1.5 对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。
C.1.6 室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。
C.1.7 每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式C.1.7计算平均粒子浓度。

（C.1.7）
式中：

——采样点i的平均粒子浓度，i可代表任何位置；

——每次采样的粒子浓度；
N——在采样点i的采样次数。
C.1.8 采样点为1个时，应按式C.1.7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，按式C.1.7计算各点的平均浓度后，再按式C.1.8计算洁净室（区）总平均值。

（C.1.8）
式中：

——各采样点平均值的总平均值；

——按式C.1.7计算的各个采样点的平均值，既洁净室（区）总平均值；
m——采样点的总数。
C.1.9 置信上限（UCL）的计算
C.1.9.1 当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限。
C.1.9.2 采样点为1个以上10个以下时，根据式C.1.8计算出各采样点平均值和总平均值后，还应按式C.1.9.1计算出总平均值的标准偏差（S）。

（C.1.9-1）
C.1.9.3 最后按式B.1.9-2计算出总平均值的95%置信上限（UCL）。

（C.1.9-2）
式中t——分布系数，见表B.1.9。
表C.1.9 95%置信上限（UCL）的t分布系数

采样点数（m）	2	3	4	5	6	7～9
t	6.3	2.9	2.4	2.1	2.0	1.9

C.1.9.4 如果每个采样点测得粒子浓度的平均值

以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值，则认为该洁净室（区）已达到规定的空气洁净度等级。
如果测试结果未能满足规定的空气洁净度等级，可增加均匀分布的新采样点进行测试，对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算的结果，作为最终检验结果。
C.1.10 空气洁净度等级计算例
C.1.10.1 被测洁净室面积（区）为1000m²，空气洁净度等级为ISO5级，规定受控粒子粒径为0.3μm（D₁）、0.5μm（D₂）。根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。
⑴ 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围，并符合D₂≥1.5D₁的要求。
⑵ 计算最大允许悬浮粒子浓度
对≥0.3μm的粒子：

，取10200个/m³。
对≥0.5μm的粒子：

，取3520个/m³。
⑶ 按式（C.1.3）计算采样点数量：

，取32
由于采样点数大于10，不计算95%置信上限。
⑷ 采样点每次采样量（Vs），按式(B.1.4)计算

选用采样量为28L/min的粒子计数器。这一选择满足：V_S>2L、C_n.m>20个/m³的要求，其采样时间≥1min。
⑸ 在每个采样点仅作一次采样（28L/min），测试得到的计数记录如下：

采样点	粒子数(≥0.3μm)	粒子数(≥0.5μm）	采样点	粒子数（≥0.3μm）	粒子数（≥0.5μm）
1	265	58	17	68	25
2	66	48	18	58	35
3	195	18	19	202	15
4	125	28	20	222	0
5	134	18	21	212	8
6	165	16	22	178	9
7	172	8	23	158	10
8	74	9	24	142	12
9	105	7	25	118	13
10	115	38	26	116	0
11	135	17	27	128	2
12	168	16	28	108	3
13	85	15	29	98	4
14	95	12	30	138	6
15	188	11	31	148	8
16	162	0	32	118	9

⑹ 以测试数据,折算为每立方米的粒子数(X_i):

采样点	X_i(≥0.3μm)	Xi(≥0.5μm）	采样点	X_i(≥0.3μm)	X_i(≥0.5μm）
1	9464	2071	17	2428	893
2	2357	1714	18	2071	1250
3	6963	643	19	7213	536
4	4464	1000	20	7928	0
5	4785	643	21	7571	286
6	5892	571	22	6358	321
7	6142	286	23	5642	357
8	2643	321	24	5071	429
9	3750	250	25	4213	464
10	4107	1357	26	4142	0
11	4821	607	27	4571	71
12	5999	571	28	3857	107
13	3035	536	29	3500	143
14	3392	429	30	4928	214
15	6714	393	31	5285	286
16	5785	0	32	4214	321